产品特点
全新外观设计,适配实验室实验操作
*进的设计理念,??榛杓?/span>
可快速拆卸和替换原有功能??椋僮鞅憬?/span>
支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能??楦鲂曰ㄖ?/span>
可实现不同功能??榈淖杂勺楹隙ㄖ?/span>
配载精密的运动控制系统,提高实验精度及重复性
产品参数
转速范围:20-10000rpm
转速分辨率:±1rpm
加速度可调范围:20-50000rpm/s
单步时长:3000s
时间分辨率:0.1s
适用基片尺寸:4/6/8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘
显影喷嘴距离基片高度可调,可调范围10-50mm
可添加背洗功能(根据客户需求而定)