全自動(dòng)離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí),交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔,之后試樣復(fù)原,再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
全自動(dòng)離子濺射儀的常見故障及其解決方法:
1、當(dāng)出現(xiàn)檢測(cè)器失效時(shí)如何解決
檢測(cè)器失效時(shí)的原因有4種:
①檢測(cè)器的插頭與主機(jī)板座松了;
②檢測(cè)器本身壞了;
③閥芯上的固定螺釘與電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)軸未緊固到位;
④閥芯本身太緊不能轉(zhuǎn)動(dòng)。檢查的順序依次為③-①-④-②。
2、吸樣不暢的原因及處理方法:
吸樣不暢的原因主要有以下4種,沿著"由簡(jiǎn)單到復(fù)雜"的思路來檢查;
①檢查管路各個(gè)接口(包括電之間的連管、電與閥之間、電與泵管之間)的連管有無(wú)漏氣,此種現(xiàn)象表現(xiàn)為不吸樣;
②檢查泵管是否粘連或過于疲勞,此時(shí)應(yīng)更換新泵管。現(xiàn)象表現(xiàn)為泵管發(fā)出異常聲音;
③各管道內(nèi)尤其是各接頭處有蛋白沉淀,此種現(xiàn)象表現(xiàn)為液速度過程定位不穩(wěn),即使換了新泵管也是樣,解決辦法為取下各接頭用水清洗干凈;
④閥本身有問題,要仔細(xì)地檢查。