1、使用SEM前需要鍍金的樣品為電子束敏感樣品。此類樣品主要是生物樣品,但也可以是其他類型的樣品,例如塑料材料。SEM中的電子束具有高能量。在與樣品的相互作用過(guò)程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品由電子束敏感材料制成,這種相互作用將破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下,由非電子束敏感材料制成的表面涂層可以充當(dāng)保護(hù)層以防止這種損壞。
2、需要濺射金的其他類型的材料是非導(dǎo)電材料。由于它們的不導(dǎo)電性,它們的表面具有“電子陷阱”的功能。這種電子在表面的積聚被稱為“充電”。如圖1a所示,在樣本上生成了額外的白色區(qū)域,這將影響樣本的圖像信息。
3、為了消除充電效應(yīng),解決此問(wèn)題的常見(jiàn)方法是降低樣品室的真空度。這樣,帶正電荷的分子可以被引入樣品表面附近。它們通過(guò)帶電電子相互抵消,從而消除了帶電效應(yīng)。這已被證明是一種有效的方法。然而,引入真空室的空氣分子會(huì)干擾電子束并影響圖像質(zhì)量。
4、因此,為了追求高質(zhì)量的SEM圖像,建議使用磁性噴射金;涂層充當(dāng)導(dǎo)電通道,使帶電電子能夠從材料中轉(zhuǎn)移。可以看到通過(guò)鍍金去除充電效果的圖像。
5、在某些情況下,金濺射的樣品制備技術(shù)可用于提高圖像質(zhì)量和分辨率。由于其優(yōu)異的高導(dǎo)電性,濺射材料可以提高掃描電子顯微鏡成像中的信噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。